Lithiumfluorid (LiF) besitzt die kleinste Transmissionskante im VUV-Bereich. Diese liegt bei 0,116 µm. Hier werden bereits 50 % der auftreffenden Strahlung transmittiert. Im Wellenlängenbereich von  etwa 0,2‐6 µm, liegt der Transmissionsanteil bei über 90 %. Das Material besitzt einen geringen Brechungsindex, wodurch eine Antireflexbeschichtung in den Optiken nicht notwendig ist. Bei Temperaturen von über 400 °C wird Lithiumfluorid durch Luftfeuchtigkeit abgebaut, eine Verwendung in trockener Umgebung ist jedoch bis 600 °C möglich. Das Material ist empfindlich gegen thermischen Schock. Lithiumfluorid wird mittels Czochralski- oder Bridgman-Methode gezogen.

Lithiumfluorid ist dank seiner Transmissionseigenschaften das bevorzugte Material für die Herstellung von Optiken für den VUV-Bereich. Weitere Verwendung findet das Material als passiver Güteschalter für aktive Laserelemente oder als Röntgenmonochromator. Für Anwendungen im Röntgenbereich ist es notwendig, dass das Lithiumfluorid keine Störungen im Kristallgitter aufweist.